PBI SCM7000HP(高純度PBI) 適用於半導體製程設備用母材
超高耐熱特性耐摩擦特性
熱壓成型
SCM7000HP 是經過熱壓成形製成的100%PBI 材料:高純度PBI具有極低的金屬含量和低釋氣(Out-gassing )特性。
SCM7000HP 特性
超高純度:
低金屬含量, 低釋氣性
機械特性:
優異的機械強度及硬度
熱特性:
超高耐熱性,低線膨脹係數,低導熱性
高電阻抗值:
優異的抗PLASMA特性
高耐化性:
對有機溶劑,酸和鹼的耐化性
SCM7000HP 基本物性表
項目 | 條件 | 標準 | 單位 | 物性 |
SCM7000HP | ||||
拉伸強度 |
23°C | ISO 527 | MPa | 160 |
拉伸伸長率 |
23°C | ISO 527 | % | 3.0 |
彎曲強度 |
23°C | ISO 178 | MPa | 220 |
彎曲彈性模數 |
23°C | ISO 178 | GPa | 6.5 |
Charpy 衝擊強度 (缺口) | 23°C | ISO 179 | kJ m-2 | 4.0 |
熱膨脹係數 |
< Tg | JIS K7197 | ppm °C-1 | 23 |
表面電阻值 | 23°C | ANSI/ESD STM11.13 | Ω | > 1013 |
吸水率 |
23°C、24 hr | ISO 62 | % | 0.40 |
此物性數量為測定代表值,非為保證值。
SCM7000HP 標準尺寸
Shape | 正方形 / mm | 厚度 / mm | 最低訂購量/SPQ |
板材 | 305 | 50 | 1/1 |
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